Jakość obrazu jaki można uzyskać w układach optycznych zależy od możliwości rozróżnienia drobnych szczegółów , jest to zdolność rozdzielcza, która jest ograniczona zjawiskiem dyfrakcji. Dla mikroskopu optycznego ta graniczna wielkość jest równa długości fali światła d=λ co daje wartość 500 nm do min 300 nm W mikroskopie elektronowym tą granicą jest fala materii elektronu λ=h/mv v-prędkość elektronu zależy od napięcia przyspieszającego elektrony v=√2Ue/m λ=h/√(2Uem) dla 100 kV λ= 6,62*10^-34/(2*100*10^3*1,6*10^-19*9,1*10^-31)^0,5=3,87938*10^-12 m λ= 3,9*10^-12/10^-9=0,0039 nm stosuje się jeszcze większe napięcia co skutkuje większymi prędkościami elektronów, mniejszą długością fali i większą rozdzielczością. Do obliczania prędkości przy tak dużych napięciach należy stosować poprawkę relatywistyczną bo prędkości dochodzą do 0,77 c. o mikroskopach elektronowych http://www.ztch.umcs.lublin.pl/materialy/rozdzial_12.pdf
